MEMS流量傳感器的應(yīng)用

流量傳感器是檢測液體、氣體和其他物質(zhì)的速度和流速的傳感器，檢測方法有接觸式和非接觸式兩種。

接觸式：直接測量，原理簡單、精確，但安裝時(shí)需要對(duì)現(xiàn)有設(shè)施進(jìn)行初步設(shè)計(jì)和施工。

非接觸式：不直接接觸，根據(jù)測量方法的不同誤差可能較大。易于安裝，可在現(xiàn)有設(shè)施內(nèi)直接啟動(dòng)測量。

流量傳感器工作原理

使用MEMS技術(shù)的流量傳感器利用的是熱量傳遞到熱電偶（熱電堆）產(chǎn)生電動(dòng)勢的熱電效應(yīng)。氣體流動(dòng)會(huì)改變加熱器的熱分布，使上下游傳輸?shù)臒崃慨a(chǎn)生差異，從而產(chǎn)生電動(dòng)勢。產(chǎn)生的電動(dòng)勢進(jìn)行溫度補(bǔ)償和線性修正后，作為流量輸出。

使用MEMS技術(shù)的流量傳感器體積小巧，安裝自由度高，對(duì)客戶的產(chǎn)品設(shè)計(jì)沒有限制。另一方面，采用數(shù)字輸出方式，精度和分辨率高，響應(yīng)速度也非常快，時(shí)間可小于5毫秒，能快速獲得測量結(jié)果。

流量傳感器大致有三類：測量上游和下游壓力差的傳感器、測量流量的傳感器和測量風(fēng)速的傳感器。其中測量風(fēng)速的流量傳感器可用于10 m/s 的風(fēng)速測量，各自在不同的領(lǐng)域能發(fā)揮不同作用。

應(yīng)用案例

1、呼吸設(shè)備

常用的呼吸治療設(shè)備有CPAP 設(shè)備、呼吸機(jī)、制氧機(jī)和肺活量測量設(shè)備等，流量傳感器在其中發(fā)揮了重要作用。流量傳感器還被用于檢測肺部空氣的流動(dòng)情況，并作為關(guān)系生命的重要傳感器不斷擴(kuò)大應(yīng)用領(lǐng)域。

2、自動(dòng)化工廠

流量傳感器可對(duì)自動(dòng)化工廠環(huán)境中空氣的流量和流速進(jìn)行可視化，不僅能使工廠環(huán)境更加舒適，還能防止灰塵進(jìn)入生產(chǎn)線造成產(chǎn)品缺陷。用于控制設(shè)備時(shí)，再小的氣流也能被檢測到，可以控制設(shè)備只使用所需的氣流，節(jié)約能源。

3、可變風(fēng)量控制設(shè)備（VAV）

空調(diào)系統(tǒng)中的可變風(fēng)量控制設(shè)備（VAV）是一種可以自動(dòng)調(diào)節(jié)風(fēng)量并控制風(fēng)量保持恒定的裝置。在裝置中使用流量傳感器可協(xié)助控制加熱和冷卻能力。流量傳感器可以測量流經(jīng)空調(diào)管道的氣流速度，并根據(jù)室內(nèi)溫差打開或關(guān)閉風(fēng)門葉片以調(diào)節(jié)氣流，實(shí)現(xiàn)節(jié)能。

美蓓亞三美將半導(dǎo)體技術(shù)與傳感器技術(shù)結(jié)合，不斷研發(fā)出多種小型化、高性能的MEMS傳感器產(chǎn)品，為各行各業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的傳感器解決方案。