MEMS壓力傳感器的優(yōu)勢及應(yīng)用

壓力傳感器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成電信號并輸出的裝置，主要由將壓力轉(zhuǎn)換成電信號的壓力敏感元件和處理電信號的信號處理裝置組成。壓力傳感器有MEMS、電阻式、電容式、壓電式和光學(xué)式等多種類型。其中采用 MEMS 技術(shù)的壓力傳感器因其出色的量產(chǎn)性、小尺寸和低功耗而得到廣泛應(yīng)用。

MEMS壓力傳感器的優(yōu)勢

1、小量程測量

使用了MEMS技術(shù)的壓力傳感器可用于-50kPa-50kPa的領(lǐng)域，且具有很高的測量精度。

2、 兩種接口輸出

可提供模擬和數(shù)字兩種接口輸出。

3、 產(chǎn)品系列豐富

產(chǎn)品系列中包含一款用于微壓力測量的微壓傳感器。普通壓力傳感器的誤差為±266 Pa，而微壓傳感器的誤差為±40 Pa，測量精度更高。

MEMS壓力傳感器的應(yīng)用

1、醫(yī)療設(shè)備 美蓓亞三美作為主要的血壓計(jì)用壓力傳感器供應(yīng)商，在日本本土及海外都設(shè)有生產(chǎn)基地，生產(chǎn)的MEMS 壓力傳感器已應(yīng)用于多種血壓計(jì)。

2、自動化工業(yè) 在自動化工業(yè)中，MEMS壓力傳感器可用于控制工廠設(shè)備使用的氣壓和液壓，并利用測量的信息進(jìn)行恰當(dāng)?shù)牟僮鳌Ｈ缡褂脡毫Φ?ldquo;吸力型”機(jī)器手可通過 MEMS 壓力傳感器進(jìn)行精細(xì)控制，在不損壞產(chǎn)品的情況下處理要抓取的產(chǎn)品。

3、汽車行業(yè) 壓力傳感器被安裝在汽車內(nèi)部的各種環(huán)境中，并根據(jù)不同條件進(jìn)行封裝。如在發(fā)動機(jī)控制中，壓力傳感器被安裝在進(jìn)氣、排氣、汽油罐等部位用于檢測氣體和液體。此外，為防止電動汽車使用的鋰電池出現(xiàn)熱失控，使用壓力傳感器的電池監(jiān)測技術(shù)正在不斷開發(fā)。

采用MEMS技術(shù)使壓力傳感器的尺寸更小，可配備的功能也更多。美蓓亞三美采用MEMS 技術(shù)和應(yīng)變片技術(shù)研發(fā)了多種不同類型的壓力傳感器，不僅拓寬了壓力傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域，在節(jié)能降耗上也做出了貢獻(xiàn)。