MEMS壓力傳感器的優勢及應用

壓力傳感器是一種將壓力轉換成電信號并輸出的裝置，主要由將壓力轉換成電信號的壓力敏感元件和處理電信號的信號處理裝置組成。壓力傳感器有MEMS、電阻式、電容式、壓電式和光學式等多種類型。其中采用 MEMS 技術的壓力傳感器因其出色的量產性、小尺寸和低功耗而得到廣泛應用。

MEMS壓力傳感器的優勢

1、小量程測量

使用了MEMS技術的壓力傳感器可用于-50kPa-50kPa的領域，且具有很高的測量精度。

2、 兩種接口輸出

可提供模擬和數字兩種接口輸出。

3、 產品系列豐富

產品系列中包含一款用于微壓力測量的微壓傳感器。普通壓力傳感器的誤差為±266 Pa，而微壓傳感器的誤差為±40 Pa，測量精度更高。

MEMS壓力傳感器的應用

1、醫療設備 美蓓亞三美作為主要的血壓計用壓力傳感器供應商，在日本本土及海外都設有生產基地，生產的MEMS 壓力傳感器已應用于多種血壓計。

2、自動化工業 在自動化工業中，MEMS壓力傳感器可用于控制工廠設備使用的氣壓和液壓，并利用測量的信息進行恰當的操作。如使用壓力的“吸力型”機器手可通過 MEMS 壓力傳感器進行精細控制，在不損壞產品的情況下處理要抓取的產品。

3、汽車行業 壓力傳感器被安裝在汽車內部的各種環境中，并根據不同條件進行封裝。如在發動機控制中，壓力傳感器被安裝在進氣、排氣、汽油罐等部位用于檢測氣體和液體。此外，為防止電動汽車使用的鋰電池出現熱失控，使用壓力傳感器的電池監測技術正在不斷開發。

采用MEMS技術使壓力傳感器的尺寸更小，可配備的功能也更多。美蓓亞三美采用MEMS 技術和應變片技術研發了多種不同類型的壓力傳感器，不僅拓寬了壓力傳感器的應用領域，在節能降耗上也做出了貢獻。